MEMS集中了当今科学技术发展的许多尖端成果，涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，具有体积小、重量轻、功耗低、价格低、集成度高、可批量制造等优点，为消费电子、汽车电子、工业控制、健康医疗、航空航天和军事国防等领域开拓了广阔的市场和应用。随着各类智慧产业方兴未艾，进一步推动底层核心器件MEMS传感器走向成熟。据IHS最新数据显示，MEMS市场正以超预期的速度发展，预计2018年全球市场总值将达130亿美元。从火爆的消费/移动应用，到工业、医疗设备、数据分析、汽车电子、航空航天、通信等各领域，整体MEMS市场的复合年增长率达7
